Can Do
EFFORTができること
01設計(機械設計/電気設計/ソフトウェア設計)
- 機械設計
- 装置・治具・ライン設備など、用途に合わせた最適な機構設計
- 電気設計
- 制御盤、回路設計
- ソフトウェア設計
- PLC・タッチパネル・PCソフトなど、現場に即した制御システムの構築
02組立・製作/現地搬入・据付・調整
- 装置の組立
- 装置の組立:精度と安全性を重視した組立作業、部品加工からユニット製作まで一貫対応
- 現地搬入・据付
- 現場環境に合わせたスムーズな搬入・設置、安定稼働に向けた動作確認と最終調整
03メンテナンス
- 定期点検
- 装置の組立:精度と安全性を重視した組立作業、部品加工からユニット製作まで一貫対応
- トラブル対応
- 急な不具合にも迅速に駆けつけ、復旧をサポート
- 改善提案
- 生産性向上・安全性向上につながる改良案の提示
- 部品交換・改造
- 老朽化部品の交換や機能追加にも対応
04その他
- 海外輸出対応
- 海外への輸出対応に実績があります。
私たち team EFFORT は、お客様の課題を丁寧にヒアリングし、
それぞれのニーズに最適な仕様を提案することから始めます。
その後の設計、製造、納品までのすべての工程を一貫してサポートし、
お客様が安心して製品を手にできる体制を整えており、
半導体関連装置から一般産業機器まで、幅広い製品に対応し、オーダーメイドの
柔軟な設計・製造を行うことで、お客様一人ひとりの要望にしっかり応えることが可能です。
私たちはお客様の課題解決に寄り添いながら、期待を超える価値を生み出すものづくりを目指しています。
Produces
EFFORTがつくるもの
移載機
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移載機・ソーター(~8インチ)
8インチまでのカセットからカセットへのウエハーの移し替えが可能です。搬送パターンについては登録により複数から選択が可能です。
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移載機・ソーター(12インチ)
12インチのカセットからカセットへのウエハーの移し替えが可能です。カセットについてはFOUP、FOSB、テフロンキャリアの実績があります。搬送パターンについては登録により複数から選択が可能です。
ウエハーローダー
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顕微鏡用ローダー(~12インチ)
顕微鏡ユニットへのウエハーのロード/アンロードが可能です。
顕微鏡側のステージはオート、マニュアルの両方に対応可能です。 -
測定器用ローダー(~12インチ)
膜厚、ウエハー厚み測定器等の種々の測定器へのロード/アンロードが可能です。
ウエハー外観検査装置
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マクロ・ミクロ検査装置(8インチ/12インチ)
マクロ(目視)検査部とミクロ(顕微鏡)検査部を搭載した装置で2種類の検査が可能となります。
マクロ検査ではジョイスティックで表裏検査が可能であらかじめ設定した(3ポジション)位置へのボタン操作での移動も可能です。
ミクロ検査では登録されたマップを使用し、座標移動や検査結果の登録が可能です。ジョイスティック、操作スイッチにてのレビューも可能です。
洗浄機
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石英部品洗浄・乾燥装置
石英部品洗浄装置は設定したレシピに基づき洗浄を行うことが可能です。乾燥装置は設定時間にて乾燥処理を行うことが可能です。
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ウエハー洗浄装置
設定したレシピに基づき洗浄を行うことが可能です。
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自動ウエハー洗浄装置(バッチ式)
カセットを自動搬送にて各処理槽へ移送し、洗浄→乾燥までの一連の工程を自動で行うことが可能です。
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薬液供給装置
上位の装置へ薬液の供給を行うことが可能です。
自動車関連
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DPF検査装置
フィルターに光を照射し、欠陥の有無の検査が可能です。
その他
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ウエハーめっき装置
ウエハーにめっき処理を行うことが可能で処理のログを残すことが可能です。
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制御盤
各種制御盤の製作も行っています。
特殊ウエハーへの対応
弊社では、以下のような特殊なウエハーへの対応実績がございます。
- 反りウエハー
- 研磨前・後ウエハー
- 半透明ウエハー
- 研削ウエハー